真空度不達(dá)標(biāo)是裝置抽真空環(huán)節(jié)的核心問題，主要表現(xiàn)為抽真空后壓力無法降至設(shè)定值，或壓力下降后快速回升。常見原因主要包括密封性能失效、真空泵系統(tǒng)異常、管路及閥門故障三類。密封失效多源于密封件老化、損壞或安裝不當(dāng)，裝置的管路接口、閥門密封面、真空泵軸封等部位的密封圈，長期受高壓、低溫或SF6氣體腐蝕影響，易出現(xiàn)變形、開裂，導(dǎo)致空氣滲入，破壞真空環(huán)境；安裝時若密封面清潔不到位、螺栓緊固力矩不均，也會形成密封間隙。真空泵系統(tǒng)異常是另一主要誘因，真空泵油位不足、油質(zhì)劣化會降低泵的抽氣效率，泵內(nèi)零件磨損、轉(zhuǎn)子卡澀等機(jī)械故障，會直接導(dǎo)致真空泵無法正常工作；此外，真空泵入口過濾器堵塞，會阻礙氣體流通，影響真空度提升。管路及閥門故障則表現(xiàn)為管路破損、閥門內(nèi)漏或閥芯卡滯，管路破損會直接導(dǎo)致漏氣，閥門密封不嚴(yán)或無法全關(guān)閉，會使外界空氣進(jìn)入或內(nèi)部氣體回流，造成真空度無法達(dá)標(biāo)。

 

　　充氣速度慢則會影響作業(yè)效率，延長設(shè)備檢修時間，其常見原因可從氣源側(cè)、管路側(cè)和裝置本身三個維度分析。氣源側(cè)問題主要是SF6氣瓶壓力不足或氣瓶出口閥門故障，氣瓶內(nèi)氣體壓力過低時，充氣動力不足，自然導(dǎo)致充氣速度放緩；氣瓶出口閥門開度不夠、閥芯磨損或堵塞，會限制氣體流量，進(jìn)而影響充氣效率。管路側(cè)故障多為管路堵塞、彎折或接口泄漏，長期使用后，管路內(nèi)可能殘留雜質(zhì)、油污或SF6分解產(chǎn)物，造成管路內(nèi)徑變小、流通受阻；管路過度彎折會形成節(jié)流效應(yīng)，接口密封不嚴(yán)則會導(dǎo)致氣體泄漏，雙重影響下充氣速度明顯下降。裝置本身故障主要涉及充氣閥、流量計等部件，充氣閥閥芯卡滯、開度不足，會直接限制氣體通過量；流量計故障若誤顯示流量數(shù)據(jù)，可能導(dǎo)致操作人員誤判，未及時調(diào)整充氣參數(shù)，間接造成充氣速度緩慢。

 

　　排查兩類故障時，需遵循“先易后難、先外部后內(nèi)部”的原則，優(yōu)先檢查密封件、管路接口、閥門開度等易排查部位，再逐步排查真空泵、充氣閥等核心部件。日常運(yùn)維中，應(yīng)定期對裝置進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，及時更換老化密封件、優(yōu)化真空泵油質(zhì)、清理管路雜質(zhì)，確保裝置各部件處于良好運(yùn)行狀態(tài)，從源頭減少故障發(fā)生，保障SF6電氣設(shè)備檢修工作的高效、安全開展。